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半導(dǎo)體制造技術(shù)導(dǎo)論
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15.1 參考文獻
本書是一本半導(dǎo)體工藝技術(shù)的優(yōu)秀教材，并不強調(diào)很深的理論和數(shù)學(xué)知識，而是重點關(guān)注半導(dǎo)體關(guān)鍵加工技術(shù)概念的理解。全書共分15章，包括：半導(dǎo)體技術(shù)導(dǎo)論，集成電路工藝導(dǎo)論，半導(dǎo)體基礎(chǔ)知識，晶圓制造、外延和襯底加工技術(shù)，半導(dǎo)體工藝中的加熱工藝，光刻工藝，等離子體工藝技術(shù)，離子注入工藝，刻蝕工藝，化學(xué)氣相沉積與電介質(zhì)薄膜，金屬化工藝，化學(xué)機械研磨工藝，半導(dǎo)體工藝整合，CMOS工藝演化，并在最后展望了半導(dǎo)體工藝發(fā)展的趨勢。
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上架時間：2016-12-29 16:13:38
出版社：電子工業(yè)出版社
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