譯者序

半導體科學與技術引發了現代科技許多領域革命性的變革和進步，是計算機、通信和網絡技術的基礎和核心，已經成為與國民經濟發展、社會進步及國家安全密切相關的重要科學技術，成為一個國家科學技術的“基石”。半導體科技與人們的日常生活息息相關，大大提高了人們的生活質量。以半導體科學與技術為基礎發展起來的集成電路技術綜合了電子、信息、材料、物理、化學和數學等各門學科的精髓，發展速度非常驚人，促使信息、通信和計算機領域發生著巨大變革。集成電路制造技術是人類改造微觀世界能力的體現，是衡量一個國家科技實力的標志之一。

作為1977年我國恢復高考制度后培養的第一批半導體科技專業人員，譯者一直從事半導體材料、器件和工藝方面的教學科研工作，深感培養半導體高級專業人才是振興國家信息產業和國防工業的關鍵。由于半導體工藝技術發展速度很快，我國關鍵技術相對落后，所以翻譯引進國際優秀教材，對于培養具有國際競爭力的優秀人才具有重要意義。

本書作者蕭宏博士，在先進半導體工藝技術方面有很深的造詣，長期在美國大學講授半導體工藝技術課程。與傳統半導體工藝相關書籍相比，本書具有兩大顯著特點：第一是避免了很深的理論和數學推導，用簡單易懂的方式將集成電路制造技術的奧秘說得十分清楚；第二是內容涵蓋了先進半導體工藝最新的技術資料，包括22納米節點關鍵工藝技術。本書將半導體工藝分為四類：添加工藝、移除工藝、熱處理工藝和圖形化工藝，知識充實，視角新穎。所以本書不僅適合于從事半導體設計和制造方面的工程師、科技人員和學生，也適用于想學習了解半導體制造方面的其他專業人員。

本書由西安電子科技大學楊銀堂教授和段寶興教授翻譯，其中楊銀堂教授參與翻譯了第1章至第3章、第10章至第15章，段寶興教授翻譯了第4章至第9章。最后，由楊銀堂教授和原著作者蕭宏博士對全書做了統一審校。

西安電子科技大學寬禁帶半導體材料與器件教育部重點實驗室部分老師對本書的翻譯給予了大力幫助，包括李躍進教授、柴常春教授、朱樟明教授、劉毅教授、賈護軍和楊曉晰老師等，譯者對他們表示感謝。

從本書的翻譯到最后完稿付梓，電子工業出版社給予了很多支持和幫助。本書繁體版由臺灣全華圖書股份有限公司出版，書中技術用語和表達方式略有不同。

由于譯者水平有限，加之時間緊迫，不妥或錯誤之處在所難免，請讀者指正。

楊銀堂 段寶興

2012年5月8日

西安電子科技大學