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書名：半導體制造技術導論：第2版

作者：【美】蕭宏

譯者：楊銀堂，段寶興

出版社：電子工業出版社

出版時間：2013-01

ISBN：9787121188503

本書由電子工業出版社授權上海閱文信息技術有限公司進行制作與發行

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