本書主要從普及的角度介紹了微機電系統及其相關技術的應用。全書共12章，分別對微機電系統的定義、起源及研究現狀、制造技術、系統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統全面，包含了微機電系統制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電系統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微系統的工作機理；先進的微機電系統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。本書可供希望了解或采用微機電系統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業選修課的參考書。