- 微機電系統及工程應用
- 莫錦秋 梁慶華 王石剛
- 252字
- 2020-01-19 14:49:22
第4章 微機械制造技術
4.1 概述
微機械制造技術包括微機械加工技術和微系統封裝技術。
微機械加工技術指三維微尺寸結構獲得或加工,目前微機電系統中的微機械加工技術可大致分為三類:
①利用傳統的超精密加工以及特種加工技術實現微機械加工;
②基于集成電路制造工藝的微機械加工技術,這類方法具有微電子技術的精度高、成本低的優點;
③一些有前景的非基于集成電路的微機械加工技術,如光刻電鑄模造(LIGA)工藝等。
微機電系統封裝則用于為微機械結構支撐、保護和隔離、提高品質因數Q、提供與其他系統的電氣連接結構,微封裝技術大都由集成電路封裝技術發展和演變而來。