官术网_书友最值得收藏!

第4章 微機械制造技術

4.1 概述

微機械制造技術包括微機械加工技術和微系統封裝技術。

微機械加工技術指三維微尺寸結構獲得或加工,目前微機電系統中的微機械加工技術可大致分為三類:

①利用傳統的超精密加工以及特種加工技術實現微機械加工;

②基于集成電路制造工藝的微機械加工技術,這類方法具有微電子技術的精度高、成本低的優點;

③一些有前景的非基于集成電路的微機械加工技術,如光刻電鑄模造(LIGA)工藝等。

微機電系統封裝則用于為微機械結構支撐、保護和隔離、提高品質因數Q、提供與其他系統的電氣連接結構,微封裝技術大都由集成電路封裝技術發展和演變而來。

主站蜘蛛池模板: 保山市| 长垣县| 册亨县| 武宁县| 屏东县| 兰溪市| 靖宇县| 长沙市| 乌拉特前旗| 拉萨市| 贵溪市| 新宁县| 曲周县| 尼玛县| 诏安县| 阿勒泰市| 东至县| 大英县| 赫章县| 镇远县| 改则县| 天柱县| 兰西县| 南阳市| 日照市| 烟台市| 恩施市| 桂阳县| 建始县| 宁波市| 泰安市| 安庆市| 鞍山市| 建宁县| 合肥市| 南投县| 武威市| 左云县| 纳雍县| 仪征市| 香河县|