微機(jī)電系統(tǒng)及工程應(yīng)用
本書主要從普及的角度介紹了微機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用。全書共12章,分別對微機(jī)電系統(tǒng)的定義、起源及研究現(xiàn)狀、制造技術(shù)、系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計(jì)技術(shù)進(jìn)行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點(diǎn)是信息量大、系統(tǒng)全面,包含了微機(jī)電系統(tǒng)制造過程中微機(jī)械加工、微封裝、微檢測各個環(huán)節(jié);微機(jī)電系統(tǒng)構(gòu)成中的各種微傳感器、微執(zhí)行器、微構(gòu)件、微系統(tǒng)的工作機(jī)理;先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)以及計(jì)算機(jī)輔助技術(shù);多種設(shè)計(jì)手段和實(shí)用軟件。本書可供希望了解或采用微機(jī)電系統(tǒng)的工程技術(shù)人員閱讀,也可作為機(jī)械工程類學(xué)生學(xué)習(xí)專業(yè)選修課的參考書。
·15.6萬字