前言

微機電系統（MEMS，即Micro Electro Mechanical System）是微電子技術的拓寬和延伸，通過傳感器、致動器、信號處理、控制等多項功能，與外部世界有機地聯系起來。微機電系統將運動、光、聲、熱、磁等自然界信號轉換成電信號；微電子系統接收這些信號，進而發出指令，控制執行部件完成所需要的操作。微機電制造技術將微電子技術和精密機械加工技術相互融合，實現微電子與機械融為一體的微機電系統，不僅可以降低機電系統的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統無法完成的任務。微機電系統將信息獲取、處理和執行融為一體，集中了微米尺度的機械、電子、光學元器件和各種傳感器，派生出多種新原理、新器件和新系統，將進一步促進產品的微型化和智能化，在空間、信息、汽車、工業控制、通信、大容量數據存儲、光信息處理、儀表儀器和國防等領域有廣泛用途。

本書共12章，分別對微機電系統的定義、起源及研究現狀、制造技術、系統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統全面，包含了微機電系統制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電系統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微系統的工作機理；先進的微機電系統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。

本書可供希望了解或采用微型機電系統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業選修課的參考書。

本書的第1、2、6、7、8、9章由莫錦秋編寫，第3、4、5、10章由王石剛編寫，第11、12章由梁慶華編寫。在本書的編寫過程中，林燁、汪國寶、劉洪濤、胡文等同學給予了大力的支持和協助，中科院微系統所車錄鋒老師給予了指教，在此表示謝意。

由于我們水平有限，且時間倉促，難免存在不妥之處，敬請批評指正。

編著者