2.3.4 真空系統(tǒng)

在集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中，工藝真空系統(tǒng)（見(jiàn)圖2.8）用于提供廠區(qū)潔凈室生產(chǎn)及測(cè)試設(shè)備在制造過(guò)程中所需的真空壓力和氣體流量。

圖2.8 工藝真空系統(tǒng)的工作流程示意圖

（1）系統(tǒng)的實(shí)際應(yīng)用情況

真空站吸入口的總流量根據(jù)需求來(lái)決定，一般用多臺(tái)真空泵并聯(lián)組合。某公司的實(shí)際應(yīng)用情況如下：

① 使用點(diǎn)的真空壓力為150kPa ± 15kPa。

② 真空泵壓力為大于80kPa（絕對(duì)值）。

③ 系統(tǒng)真空壓力為80～88kPa。

④ 系統(tǒng)配備真空緩沖罐。

⑤ 配合旋轉(zhuǎn)螺栓式真空泵降溫的冷卻水。

（2）系統(tǒng)運(yùn)行描述

工藝真空系統(tǒng)通過(guò)真空泵抽取管路內(nèi)的空氣，以保持腔體具有一定的壓力，抽取后的氣體通過(guò)真空泵的后端排入大氣或者排氣系統(tǒng)。同時(shí)由于單個(gè)工藝產(chǎn)品末端壓力需要恒定，因此主管路的壓力系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)壓力也需要恒定。緩沖罐并聯(lián)入整個(gè)系統(tǒng)，可在真空泵端發(fā)生短暫異常時(shí)，使主管壓力短時(shí)間內(nèi)維持在原來(lái)的壓力值，避免工藝產(chǎn)品受到影響。系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，由緩沖罐外部的空氣壓力傳感器測(cè)量真空度，信號(hào)傳入集中邏輯控制器。當(dāng)真空度小于80kPa時(shí)，開(kāi)啟進(jìn)氣閥、冰水電磁閥和真空泵，直至真空度上升到預(yù)設(shè)的上限值（大于88kPa）。當(dāng)真空度下降至下限時(shí)，開(kāi)啟一臺(tái)真空泵后，若真空度值仍繼續(xù)下降，則繼續(xù)開(kāi)啟第二臺(tái)真空泵，直至所有真空泵均啟動(dòng)。當(dāng)系統(tǒng)真空度到達(dá)上限值時(shí)，關(guān)閉真空泵。