2.3.5 排氣系統

在生產過程中，各種氣體和化學品與芯片的反應會產生有毒有害的反應物。這些反應物需經過工藝排氣系統的有效處理，達到排放標準后排放到室外，以避免氣態物質對環境和人員造成傷害。

（1）排氣系統的分類及處理方式

① 一般氣體的排氣系統：通過風機排除工藝設備產生的廢熱，或為了保證工藝設備內部的負壓環境的排氣系統。一般排氣不含有毒、有害的物質，且不經過處理，直接向室外大氣中排放。

② 酸性氣體的排氣系統：采用酸性洗滌塔處理含有HCl、H₂SO₄等的酸性有害氣體并通過風機排到大氣的排氣處理系統。酸性洗滌塔使酸性有害氣體與堿性液體進行中和反應，然后通過風機分離出液體和符合排放標準的氣體。一般采用氣液逆向吸收的方式，即堿性液體從塔頂向下以霧狀（或小液滴）的方式進行噴灑，使酸性氣體經過填充式洗滌塔。此處理可達到冷卻廢氣、凈化氣體及去除顆粒的目的。廢氣再經過除霧段處理，達到環境排放標準后排入大氣中。

③ 堿性氣體的排氣系統：采用堿性洗滌塔處理含有NH₃等的堿性有害氣體并通過風機排到大氣的排氣處理系統。堿性洗滌塔使堿性有害氣體與酸性液體進行中和反應，然后通過風機分離出液體和符合排放標準的氣體。一般采用氣液逆向吸收的方式，即酸性液體從塔頂向下以霧狀（或小液滴）的方式進行噴灑，使堿性氣體經過填充式洗滌塔。此處理可達到冷卻廢氣、凈化氣體及去除顆粒的目的。廢氣再經過除霧段處理，達到環境排放標準后排入大氣中。

④ 有機溶劑的排氣系統：采用沸石轉輪和燃燒爐處理含有苯、丙酮、異丙醇等有機溶劑的有害氣體的排氣處理系統。一般通過設置沸石轉輪吸附有機溶劑，達到環境排放標準后排入大氣。轉輪濃縮之后的有機溶劑通過熱風進行脫附。

（2）風壓設計的原則

風壓設計包含了工藝排氣系統設計過程中對風機以及對用戶點的末端和主管末端的壓力設計。設計過程中需要考慮風管管道的阻力損失，風管管件、三通、彎頭、變徑、風閥的局部阻力損失，末端用戶點的最小風壓需求，以及工藝排氣經過處理設備的壓力損失，并在風壓設計過程中需要考慮一定的余量，以保證末端用戶的風量與風壓需求。一般預留的工藝排氣接點的風壓為-400～-500Pa，主管末端的風壓為-700～-800Pa，風機入口集管處的風壓一般為-1000～-1300 Pa。在工藝設備的運行過程中，工藝排氣的負壓壓力必須保證穩定，避免負壓波動范圍過大，以免造成設備報警、強制停機，甚至直接影響生產。