硅基MEMS制造技術
隨著MEMS技術的不斷成熟和全面走向應用，MEMS芯片的量產(chǎn)問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產(chǎn)必須在集成電路生產(chǎn)線上進行，但是MEMS芯片制造與集成電路制造相比有明顯不同，這使得集成電路生產(chǎn)線在轉型制造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝制造三維微機械結構，進而實現(xiàn)硅基MEMS芯片的批量制造，系統(tǒng)介紹了硅基MEMS芯片制造技術。由于MEMS涉及學科較多，為了讓不同學科背景的人能夠快速讀懂本書，本書先對MEMS的來龍去脈及MEMS出現(xiàn)的原因進行了簡單介紹，然后詳細介紹了相關內(nèi)容，盡量做到通俗易懂。希望讀者通過本書能全面了解硅基MEMS芯片制造技術，為從事與MEMS相關的工作打下基礎。
·19.6萬字
