第5章 真空度測量儀器
各種真空泵的作用是對真空系統(器件)進行抽氣而達到一定的真空度(或壓力)。那么真空度(壓力)究竟有多高?必須采用各種真空度測量儀器即真空計直接或間接地測量真空度的高低,也就是壓力的高低。
真空度測量指的是對低于大氣壓的氣體全壓的測量。因此,真空計是測量真空系統中低于大氣壓的所有氣體總壓的儀器。對于真空系統中某種氣體的分壓力,則需采用像四極質譜計那樣的分壓計來測量。
真空計包括真空規管(簡稱真空規)和控制線路兩部分。
各種真空泵的作用是對真空系統(器件)進行抽氣而達到一定的真空度(或壓力)。那么真空度(壓力)究竟有多高?必須采用各種真空度測量儀器即真空計直接或間接地測量真空度的高低,也就是壓力的高低。
真空度測量指的是對低于大氣壓的氣體全壓的測量。因此,真空計是測量真空系統中低于大氣壓的所有氣體總壓的儀器。對于真空系統中某種氣體的分壓力,則需采用像四極質譜計那樣的分壓計來測量。
真空計包括真空規管(簡稱真空規)和控制線路兩部分。