5.1　真空計的分類

真空計的種類較多，根據其工作原理可分為絕對真空計和相對真空計。前者是直接測量壓力高低的真空計，如U形真空計、壓縮真空計；后者是不能直接測量壓力的數值，而只能測量與壓力有關的物理量，再與絕對真空計相比較進行標定的真空計，如熱傳導真空計、電離真空計、薄膜真空計等。

由于各種真空計的結構原理不同，以及測量與壓力有關的物理量時，這個物理量與壓力之間的關系只是在某些壓力范圍才成立，即各種真空計都有不同的測量范圍（量程），因此不同壓力范圍要采用不同的真空計去測量。近代真空技術所涉及的壓力范圍達十幾個數量級，因此沒有任何一種真空計能測量這么寬的壓力范圍。目前，從大氣壓到10-10Pa超高真空范圍內的壓力測量問題都已經解決了，在10-11～10-13Pa的極高真空范圍的壓力測量也已取得較大進展。表5-1列出了一些真空計的測量范圍。

表5-1　一些真空計的測量范圍

下面介紹幾種常用真空計的工作原理、真空規結構、壓力測量范圍及使用注意事項等。