薄膜技術(shù)與薄膜材料
本書(shū)是作者根據(jù)多年從事材料表面薄膜制備技術(shù)的科研和教學(xué)經(jīng)驗(yàn)編寫(xiě)而成,全書(shū)共分4章,分別闡述了材料表面防護(hù)裝飾膜層的物理氣相沉積技術(shù)(包括真空蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍鍍膜),化學(xué)氣相沉積技術(shù)(包括簡(jiǎn)單的CVD相關(guān)理論、設(shè)備裝置、CVD種類(lèi)等),硬膜及超硬膜的制備技術(shù)(金剛石膜、類(lèi)金剛石膜、立方氮化硼膜、CNx膜及氮化物、碳化物、氧化物薄膜及復(fù)合薄膜等),以及利用化學(xué)、電化學(xué)反應(yīng)在材料表面制備膜層的技術(shù)(包括化學(xué)鍍、化學(xué)氧化、鈍化、磷化、電鍍、陽(yáng)極氧化、微弧氧化等內(nèi)容)。本書(shū)除了具有一定的理論參考價(jià)值外,也具有較為廣泛的應(yīng)用價(jià)值,既可作為薄膜材料研究專(zhuān)業(yè)科技人員的參考書(shū),也可作為高等院校材料類(lèi)及相關(guān)專(zhuān)業(yè)的本科生、研究生教學(xué)用書(shū)。
·11.5萬(wàn)字