熱絲法合成金剛石膜
本書首先對CVD金剛石薄膜的性質(zhì)及應用進行概述；然后對熱絲化學氣相法沉積金剛石薄膜的形核、生長過程及規(guī)律系統(tǒng)地進行研究分析，并對沉積過程中氣相化學進行診斷分析，討論添加輔助氣體對氣相活性基團的影響以及對沉積金剛石薄膜質(zhì)量和生長速率的影響；最后介紹熱絲CVD金剛石薄膜涂層鉆頭以及微米、納米復合涂層金剛石薄膜模具。本書適合于高等院校的材料、物理、化學等專業(yè)的方向課教學用書，亦可作為相關工程領域尤其是CVD金剛石產(chǎn)業(yè)的科研與生產(chǎn)指導書。
·7.6萬字
