3.5 國產真空泵
3.5.1 SKY干式真空泵組及濺射離子泵
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（SKY）是集研制、開發、生產為一體的高新企業，為上市公司。生產干式真空泵，濺射離子泵。
（1）JGM系列干式真空泵組
主要用途：集成電路、太陽能電池等設備中的無油抽氣系統；適用于中度腐蝕工藝環境，如進樣室、傳輸腔、PVD（物理氣相沉積）、硅刻蝕、金屬刻蝕、計量、光刻、光伏電磁層壓機、MOCVD（有機金屬化學氣相沉積）等；真空冶金工業的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理；空間模擬、低密度風洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體；化工、食品、醫藥、電機制造等工業的蒸餾、蒸發、干燥等。
技術特點：無油，可獲得清潔的真空環境；可抽出可凝性氣體；直接啟動、啟動快、抽速大、高真空、可實現連續運轉，零維護、能耗低、體積小重量輕、噪聲低。
JGM系列干式真空泵組型號及技術參數見表3-47。
表3-47 JGM系列干式真空泵組型號及技術參數
（2）JGH系列干式真空泵組
JGH系列干式真空泵組型號及技術參數見表3-48，表3-49。
表3-48 JGH系列干式真空泵組型號及技術參數一
表3-48中真空泵的主要用途及技術特點：
主要用途：集成電路、太陽能電池等設備中的無油抽氣系統；適用于強腐蝕工藝環境，主要應用于氣體循環、氣體回收、干燥（凍干、變壓器、絕緣油、食品加工、電容器）、晶體成長、熱處理/燒結、空間模擬、真空鎖定室、高能物理（同步加速器、對撞機、核聚變）、濺射、等離子體應用（沉積、噴涂、殺菌、印刷電路板、硬盤驅動器等）、鍍膜（卷繞、光學、物理氣相、金屬噴鍍、裝飾、薄膜沉積研發）、氣瓶填充、汽車（空調、冷媒、剎車管路抽空/剎車油填注）等。
技術特點：無油、可獲得清潔的真空環境；可應用于強腐蝕工藝；自動控制系統模塊化，具備遠程控制接口，具有手動、遠程調壓（氣壓）、遠程節能等三種控制模式，可靠性高、無需維護。具有極佳的風塵和顆粒處理能力，氣路短、分級壓縮、冷凝物少、能效高。
表3-49 JGH系列干式真空泵組型號及技術參數二
表3-49中真空泵的主要用途及技術特點：
主要用途：集成電路、太陽能電池等設備中的無油抽氣系統；適用于苛刻工藝環境如PECVD、LPCVD、MCVD等，也適用于中度腐蝕工藝和清潔工藝環境；真空冶金工業的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理；化工、食品、醫藥、電機制造等工業的蒸餾、蒸發、干燥等。
技術特點：無油、可獲得清潔的真空環境；可在多粉塵、強腐蝕工藝環境下使用；自動控制系統模塊化，具備遠程控制接口、具有遠程調壓（氣壓）功能、零維護、可靠性高、耗能低。
（3）無油雙側渦旋泵
主要用途：薄膜制備設備、大科學工程與化學分析；半導體封裝設備等無油抽氣系統的配泵；分子泵的配泵；醫療儀器、生物制藥與藥品制備；食品、藥品等包裝設備。
技術特點：泵內無油，可獲得清潔的真空環境；低噪聲；無需水冷，耐腐蝕；操作簡便，維護費用低廉。
無油雙側渦旋泵型號及技術參數見表3-50。
表3-50 無油雙側渦旋泵型號及技術參數
3.5.2 KYKY分子泵
北京中科科儀股份有限公司（KYKY）是真空行業知名企業，國內最早開發研制分子泵單位之一。生產有渦輪分子泵、磁懸浮分子泵、脂潤滑復合分子泵。
表3-51給出了渦輪分子泵型號及參數；表3-52給出了磁懸浮分子泵型號及參數；表3-53給出了脂潤滑復合分子泵型號及參數。
表3-52 磁懸浮分子泵型號及參數
表3-53 脂潤滑復合分子泵型號及參數
3.5.3 環球真空的真空泵產品
浙江臺州環球真空設備制造有限公司（簡稱環球真空公司）是專門從事各類真空泵開發生產的專業企業，產品主要有滑閥真空泵、干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、往復真空泵以及水環真空泵等。產品廣泛地應用于國民經濟各個領域。
（1）2H型滑閥真空泵
2H型滑閥真空泵性能參數見表3-54。
表3-54 2H型滑閥真空泵性能參數
（2）H型滑閥真空泵
H型滑閥真空泵性能參數見表3-55。
表3-55 H型滑閥真空泵性能參數
注：1″=1in=0.0254m。
（3）LG型干式螺桿真空泵
LG型干式螺桿真空泵性能參數見表3-56。
表3-56 LG型干式螺桿真空泵性能參數
（4）ZJP型羅茨真空泵
ZJP型羅茨真空泵性能參數見表3-57。
表3-57 ZJP型羅茨真空泵性能參數
（5）ZJ型羅茨真空泵
ZJ型羅茨真空泵性能參數見表3-58。
表3-58 ZJ型羅茨真空泵性能參數
（6）2SK型水環真空泵
2SK型水環真空泵性能參數見表3-59。
表3-59 2SK型水環真空泵性能參數
（7）SK型水環真空泵
SK型水環真空泵性能參數見表3-60。
表3-60 SK型水環真空泵性能參數
（8）SZ型水環真空泵
SZ型水環真空泵性能參數見表3-61。
表3-61 SZ型水環真空泵性能參數
（9）WLW型無油立式往復真空泵
WLW型無油立式往復真空泵性能參數見表3-62。
表3-62 WLW型無油立式往復真空泵性能參數
（10）羅茨旋片真空機組
羅茨旋片真空機組性能參數見表3-63。
（11）羅茨滑閥真空機組
羅茨滑閥真空機組性能參數見表3-64。
（12）羅茨水環真空機組
羅茨水環真空機組性能參數見表3-65。
3.5.4 浙真集團真空泵
浙江真空設備集團有限公司（簡稱浙真集團）是真空行業著名企業，主要產品有滑閥真空泵、羅茨真空泵、氣冷直排大氣羅茨真空泵、水環真空泵、往復真空泵等。
（1）2SK、SK水環真空泵及2YK液環真空泵
SK型和2SK型水環真空泵，其特點是能耗少。噪聲低，除了能抽除一般性氣體外，也能抽吸蒸氣，如果改變主要零件材質，還能抽吸易燃易爆及腐蝕性氣體。2YK型液環真空泵，其特點是真空度高，適用性強，它可以選用適當的工作介質，有時也可用被抽介質作為工作液，因此幾乎全部的工業性氣體均可被抽。以上各種泵已廣泛地應用于輕工、化工、食品、電力、醫藥等各種部門中的真空工藝處理之中。其性能見表3-66。
表3-66 2SK、SK、2YK水環（液環）真空泵性能
注：供水量適用于水環泵，不適用油環泵。
（2）W型往復式真空泵
往復式真空泵又稱往復式活塞真空泵，極限壓力1333～2666Pa（10～20Torr）。因此，它是獲得粗真空的主要設備之一。常用于從密封容器中或反應鍋中抽除空氣或其他氣體。采用特殊措施后，可用于抽除腐蝕性或者抽除帶有粉塵的氣體。
本型泵廣泛地應用于化工或食品工業中的真空蒸餾、真空蒸發、真空結晶、真空干燥和真空過濾等各種真空作業中。其性能見表3-67。
表3-67 W型往復式真空泵性能
注：1in=0.0254m。
（3）H及2H型滑閥真空泵
H型系列滑閥式機械真空泵是抽除一般性氣體或含有少量可凝性氣體（此時應使用氣體）的真空獲得設備之一。當抽除含氧過高的、有爆炸性的，對黑色金屬有腐蝕性的、對真空油起化學反應的等氣體時，應加附設裝置。本型泵可以單獨使用，也可作為其他高真空泵的前級泵。廣泛地應用于真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、高真空模擬試驗以及其他真空作業上。H及2H型滑閥真空泵性能見表3-68。
表3-68 H及2H型滑閥真空泵性能
（4）ZJ型羅茨真空泵
該泵可作為增壓泵使用，但它不能單獨直接地把氣體排到大氣中去。其前級泵可用滑閥真空泵或旋片、水環、油環等真空泵。
該廠產品的優點是：
泵腔內部沒有互相滑動的零件，因此無需用油潤滑；
泵的轉動部分經過細心的平衡，因此運轉平穩、噪聲較低；
泵的傳動采用可靠的消隙結構，因此可以在較高壓差下長時間連續工作。
ZJ型羅茨真空泵性能見表3-69。
表3-69 ZJ型羅茨真空泵性能
注：ZJ-150、ZJ-300、ZJ-600可用于氣體激光系統，相應型號為LJ150、LJ300、LJ600。
（5）ZJP型羅茨真空泵
該系列羅茨泵原可作為增壓泵使用，但不能直接地把氣體排到大氣中去。其前級泵可用滑閥或旋片泵、水環泵、油環泵等真空泵。
本系列羅茨泵主要特點有：
本身配有溢流閥起自動保護作用；
泵腔內無互相滑動的零件，因此無需用油潤滑；
轉動部件作過細心的平衡，因此旋轉平穩、噪聲低；
泵的傳動采用可靠地銷結構，因此可在高壓差下長期工作。
ZJP型羅茨真空泵性能見表3-70。
表3-70 ZJP型羅茨真空泵性能
（6）LQ氣冷式直排大氣羅茨泵
LQ氣冷式直排大氣羅茨泵性能見表3-71。
表3-71 LQ氣冷式直排大氣羅茨泵性能
3.5.5 博開科技DZB系列低溫泵
浙江博開機電科技有限公司（簡稱博開科技公司）是專業從事低溫泵開發、生產的新型科技類企業，生產DZB系列低溫泵。
（1）低溫泵
低溫真空泵（又稱低溫泵、冷泵、冷凝泵）是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的積聚式真空泵，是無油高真空環境獲得設備。低溫泵應用于半導體、集成電路、光電器件的制造工藝過程，是集成電路專用設備中的關鍵設備之一；低溫泵也用于各種其他鍍膜設備和真空應用設備中。低溫泵的特點：
高極限真空度，最高可以達到10-8Pa以上極高真空；
大抽速，對空氣尤其是水蒸氣有著超高的抽速；
真正潔凈，它是利用低溫冷板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空，在真空區域沒有任何運動部件；沒有油，潔凈無污染；
運行成本低，以擴散泵為例作比較，低溫泵可以節約中間很多耗材（如液氮）和維修成本，也大大降低了能源損耗；
安全可靠，真空腔內無運動部件，來自外界的干擾或來自真空系統的微粒不影響低溫泵的工作；
使用方便，低溫泵對安裝方位沒要求；
低溫泵壽命長，因為低溫泵運動部件少且低速運行，通過日常的保養維護，低溫泵的正常的使用壽命可達5萬～6萬小時，甚至超過8萬小時。
DZB系列低溫泵性能見表3-72。
表3-72 DZB系列低溫泵性能
（2）低溫泵水汽泵
以77K制冷機的冷頭做冷源，可以抽除真空系統中的水汽，對水蒸氣抽速較大。泵進氣口每單位面積的抽速為14.9L/（s·cm2）。其型號及性能見表3-73。
表3-73 低溫水汽泵型號及性能
（3）制冷機
低溫制冷機采用的是吉福特-麥克馬洪循環，利用西蒙膨脹原理（即絕熱放氣）來制冷。制冷機主要應用于低溫泵、冷阱、材料性能測試、探測器冷卻、低溫電子學、用戶定制的低溫制冷系統、超導磁體等方面。其型號及性能見表3-74。
表3-74 制冷機型號及性能
（4）氦氣壓縮機
氦氣壓縮機是低溫制冷機、低溫真空泵的重要組成部分。氦氣壓縮機的作用是為制冷機冷頭（膨脹機）提供必要的高低壓力循環。其內部一般充有99.995%的高純氦氣。它與制冷機冷頭通過金屬軟管連接，組成一個完整的制冷機系統。氦氣壓縮機型號及性能見表3-75。
表3-75 氦氣壓縮機型號及性能
3.5.6 紀維無油渦旋真空泵
沈陽紀維應用技術有限公司（簡稱紀維公司）是從事渦旋泵專業的制造商，主要生產GWSP系列無油渦旋泵。
GWSP系列無油渦旋泵由泵頭、電機、機座等構成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼等。渦旋盤由圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤付構成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形封閉壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現對被抽腔體抽真空。
GWSP渦旋泵應用領域見表3-76，其型號及性能見表3-77。
表3-76 GWSP渦旋泵應用領域
3.5.7 華特HTFB復合分子泵
北京市華特應用技術研究所是主要從事清潔無油高真空，超高真空設備的研制、生產單位，該研究所生產的HTFB復合分子泵型號及性能見表3-78。
表3-78 HTFB型復合分子泵型號及性能
3.5.8 上海真空泵廠真空泵
上海真空泵廠創建于1934年，是國內著名的真空設備制造商。真空泵產品有2X型雙級旋片真空泵，2XZ型直聯旋片真空泵，W型、WWY（無油）型往復真空泵，以及濺射離子泵。
（1）往復真空泵
表3-79給出了W型、WWY型往復真空泵型號及參數。
表3-79 W型、WWY型往復真空泵型號及參數
（2）旋片真空泵
表3-80給出了2X型雙級旋片真空泵型號及參數。
表3-80 2X型雙級旋片真空泵型號及參數
（3）直聯旋片真空泵
表3-81給出了2XZ型直聯旋片真空泵型號及參數。
表3-81 2XZ型直聯旋片泵型號及參數
（4）濺射離子泵
表3-82給出了3L、L、LH型濺射離子泵性能參數。
表3-82 各種類型濺射離子泵性能參數
注：電源具有全過程自動保護、全動態自動恢復功能。
3.5.9 南光機器F型分子泵及2XZ型及2X型旋片式真空泵
成都南光機器有限公司，最早可以追溯到始建于1877年的四川機器總局，1958年步入真空機械領域，是國內真空行業骨干企業之一。生產的真空泵產品有F型渦輪分子泵、2X型旋片式真空泵、2XZ型直聯旋片真空泵。
（1）2X型旋片式真空泵
2X型旋片式真空泵技術參數見表3-83。
表3-83 2X型旋片式真空泵技術參數
（2）2XZ型直聯旋片真空泵
2XZ型直聯式真空泵技術參數見表3-84。
表3-84 2XZ型直聯旋片真空泵技術參數
（3）F型渦輪分子泵
F型渦輪分子泵技術參數見表3-85。
表3-85 F型渦輪分子泵技術參數
3.5.10 國產Z型系列油擴散噴射真空泵
國產Z型系列油擴散噴射真空泵主要技術性能見表3-86。
3.5.11 國產K型系列油擴散真空泵
國產K型系列油擴散真空泵主要技術性能見表3-87。
3.5.12 淄博真空設備廠真空泵
（1）水環式真空泵
水環式真空泵技術參數見表3-88。
表3-88 水環式真空泵技術參數
（2）X及2X型旋片式真空泵
X及2X型旋片式真空泵技術參數見表3-89。
表3-89 X及2X型旋片式真空泵技術參數
（3）往復式真空泵
往復式真空泵技術參數見表3-90。
表3-90 往復式真空泵技術參數
（4）干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵技術參數見表3-91。
表3-91 干式螺桿真空泵技術參數
（5）羅茨真空泵
羅茨真空泵技術參數見表3-92。
表3-92 羅茨真空泵技術參數
3.5.13 海樂威真空泵產品
北京海樂威真空科技發展有限公司，提供德國萊寶公司的系列真空泵產品如下。
（1）SV系列單級油封旋片泵
①抽速范圍：10～1200m3/h。
②極限壓力：<0.5mbar（無氣鎮分壓力）；<1.5mbar（帶氣鎮分壓力）；其中SV1200，極限壓力<8×10-2mbar（無氣鎮分壓力），<7×10-1mbar（帶氣鎮分壓力）。
特點：排水蒸氣能力強；出口配油霧過濾器，無油煙；可以在入口壓力為大氣時連續工作。
（2）TRIVAC B系列雙級油封旋片泵
①抽速范圍：4～65m3/h。
②極限壓力：10-4mbar（無氣鎮分壓力）；2×10-3mbar（無氣鎮分壓力）；8×10-2mbar（無氣鎮全壓力）；5×10-3mbar（帶氣鎮全壓力）。
特點：可以在入口壓力為大氣壓下連續工作；自動防止返油；耐水蒸氣能力強。
（3）SCREWLINE系列螺桿式無油壓縮真空泵
①抽速范圍：250～630m3/h。
②極限壓力：<0.01mbar。
③噪聲：75dB。
特點：無油污染；耐粉塵及有機溶劑；無軸承和密封結構，降低了故障率；有監控器，泵需維修前報警。
（4）Ecodry活塞式干泵
①抽速范圍：15～38m3/h。
②極限壓力：3×10-2mbar。
特點：耐粉塵；排水能力強；能耗低。
（5）DIVAC系列膜片泵
①抽速范圍：0.6～2.2m3/h。
②極限壓力：8mbar。
③噪聲：47～75dB。
特點：無油；耐水蒸氣能力強；耐腐蝕性和耐溶劑性好。
（6）渦旋式干泵
抽速分別為：5m3/h；15m3/h；30m3/h。極限壓力：0.01～0.05mbar。
特點：低能耗、低噪聲、低振動。
（7）羅茨真空泵
①抽速范圍：250～16000m3/h。
②極限壓力：<4×10-2mbar。
特點：風冷；大氣下啟動（WAU/WSU系列）；振動小，噪聲低，有變頻器，抽速可調。
（8）油擴散泵
①抽速范圍：3×103～5×104L/s。
②極限壓力：<1×10-8mbar。
③前級耐壓：0.6mbar。
④反油率：1×10-3mg/（cm2·min）；用DC705油，返油率小于1×10-4mg/（cm2·min）。
特點：預熱時間短，3×103～2×104L/s泵預熱時間小于25min；3×104～5×104L/s泵預熱時間小于30min；可在不停泵的情況下，更換加熱棒；有過熱保護；有注油及放油孔，有視鏡可觀察油狀態。
（9）渦輪分子泵
渦輪分子泵有3種：陶瓷軸承脂潤滑渦輪分子泵；復合分子泵；磁懸浮分子泵。
①陶瓷軸承脂潤滑渦輪分子泵
a.抽速范圍：5～1600L/s。
b.極限壓力：<10-10mbar。
特點：任意角度安裝；對H2壓縮比大，無維護運行時間長。
②復合分子泵
a.抽速范圍：70～1600L/s。
b.極限壓力：1×10-9mbar。
c.允許前級壓力：6～14mbar。
特點：任意角度安裝，耐粉塵能力強；無維護運行時間長；耐短暫大氣沖擊。
③磁懸浮分子泵
a.抽速范圍：700～3200L/s。
b.極限壓力：<1×10-8mbar。
c.前級耐壓：2mbar。
特點：全無油，耐粉塵，抗氣流沖擊；耐高溫，可達120℃；轉子鍍鎳，防腐蝕性強。
（10）低溫泵
①抽速范圍：800～3000L/s。
②極限壓力：1×10-11mbar。
特點：與相同口徑低溫泵相比，抽速大；耐大氣沖擊，清潔真空度高；能快速再生。