- 現代集成電路制造技術原理與實踐
- 李惠軍編著
- 233字
- 2018-12-28 14:40:02
習題
1.簡述電子技術的發展歷史和電子器件所經歷的4個發展階段。
2.集成電路的系統規模通常使用“集成度”來描述。請解釋“集成度”這一概念的含義。
3.制造晶體管或集成電路為什么要使用單晶結構的半導體材料 ?
4.采用常規硅雙極 PN 結隔離平面制造工藝至少需要經過哪些工序方可完成集成電路管芯的制造加工過程?
5.常規分立晶體管平面工藝與常規 PN 結隔離集成電路平面工藝相比,后者比前者多了哪幾道工序?
6.繪制出自襯底制備至完成常規 PN 結隔離單元結構的雙極性集成電路管芯的剖面結構示意圖。