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第203章 完成工藝鑒定試驗,超越小日子

“N45nm-7nm ArF化學放大光刻正膠,我們這邊給的代號是HQ-1068,張主任你們需要的應該就是這個。”

錢教授指著學生端上來的兩瓶用聚四氟乙烯瓶子裝的試劑,向張千越介紹了各自的代號,以及性能參數。

“另外一個是用在微流體器件領域的負膠,分辨率2微米,穩定性和成本都要比目前市面上的好一點。”

“當然,這個在先進制程光刻領域中基本用不到,我就簡單提一下,不具體展開了。”

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