2.2.2 國內集成電路生產線發展情況

20世紀60年代中期，我國許多工廠利用國產設備建立了一批半導體生產線，產品多數以晶體管為主。各省市所建廠中比較有名的有上海元件五廠、上海無線電七廠、上海無線電十四廠、上海無線電十九廠、蘇州半導體廠、常州半導體廠，北京市半導體器件二廠、三廠、五廠、六廠，天津半導體一廠和航天部西安691廠等。

1968年，上海無線電十四廠在國內首次研制成功PMOS集成電路。

20世紀70年代初，永川半導體研究所、上海無線電十四廠和北京878廠相繼研制成功NMOS集成電路，之后又研制成功CMOS集成電路，拉開了我國發展MOS集成電路的序幕。

1983年，江蘇無錫的江南無線電器材廠從日本東芝公司全面引進的全新完整的3in工藝設備集成電路生產線建成投產，主要生產彩色和黑白電視機所用的集成電路產品。

1988年，在上海無線電十四廠的基礎上成立的上海貝嶺微電子制造有限公司建成一條全新的4in集成電路生產線。

1988年，在上海元件五廠、七廠和十九廠聯合技術引進項目的基礎上，組建上海飛利浦半導體公司，建成一條全新的5in集成電路生產線。

1990年，中國華晶電子集團公司承擔國家“908”工程，建成一條150mm集成電路生產線。

1991年，首鋼NEC電子有限公司建成一條150mm集成電路生產線。

1999年，上海華虹NEC電子有限公司承擔國家“909”工程項目，建成一條自動化程度非常高的200mm超大規模集成電路生產線，采用0.35μm工藝量產制造64Mbit同步動態存儲器（SDRAM）。

2001年，中芯國際集成電路制造有限公司的首條200mm集成電路生產線在上海建成投產，制造當時國內最先進的0.25μm以下邏輯集成電路芯片產品，同時還為客戶提供掩模版制造服務。2002年，量產0.18μm邏輯集成電路芯片產品，將中國集成電路的水平提升了五個技術代。目前中芯國際集成電路制造有限公司仍然是世界先進的集成電路芯片代工企業之一。

2004年，臺積電（上海）有限公司和上海先進半導體制造有限公司相繼開工建設。

2005年4月，中芯國際集成電路制造有限公司在北京建成我國第一條300mm集成電路生產線。

2006年10月，無錫海力士半導體公司建成一條30mm集成電路生產線，生產存儲器產品。

2007年12月，中芯國際集成電路制造有限公司（上海）300mm集成電路生產線正式運營，次年量產。

2008年9月，武漢新芯集成電路制造有限公司建設成功一條300mm集成電路生產線，主要提供閃存及CMOS圖像傳感器產品代工服務。

2010年，上海華力微電子有限公司正式成立，承擔“909”工程升級改造主體項目，建設了一條300mm的90nm/65nm/45nm工藝集成電路生產線。