圖書在版編目（CIP）數據

芯片制造：半導體工藝與設備/陳譯，陳鋮穎，張宏怡編著.—北京：機械工業出版社，2021.7

（半導體與集成電路關鍵技術叢書 微電子與集成電路先進技術叢書）

ISBN 978-7-111-68881-5

Ⅰ.①芯…　Ⅱ.①陳…②陳…③張…　Ⅲ.①芯片-半導體工藝　Ⅳ.①TN430.5

中國版本圖書館CIP數據核字（2021）第158658號

機械工業出版社（北京市百萬莊大街22號 郵政編碼100037）

策劃編輯：江婧婧　責任編輯：江婧婧　楊　瓊

責任校對：鄭　婕　封面設計：鞠　楊

責任印制：郜　敏

北京盛通商印快線網絡科技有限公司印刷

2022年1月第1版第1次印刷

169mm×239mm·12.25印張·236千字

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標準書號：ISBN 978-7-111-68881-5

定價：69.00元

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