第3章?半導體制造系統(tǒng)數(shù)據預處理

受各種因素的干擾,實際制造系統(tǒng)的數(shù)據質量不高。低質量的數(shù)據會導致挖掘結果不理想,因此數(shù)據預處理通常被視為數(shù)據挖掘的重要環(huán)節(jié)。數(shù)據預處理的目的在于提高數(shù)據質量,一般包括數(shù)據集成、變換、清理和規(guī)約等任務。半導體制造系統(tǒng)在數(shù)據采集過程中難免會發(fā)生傳感器漂移、設備故障或人工失誤等現(xiàn)象,導致數(shù)據集包含噪聲。此外,生產調度相關數(shù)據需要從MES、ERP、SCADA等系統(tǒng)中集成得到,這些系統(tǒng)中的數(shù)據從不同層次不同角度描述了企業(yè)生產過程,導致所集成數(shù)據的屬性之間有較高冗余,這些都需要通過數(shù)據預處理來解決。