3.4　本章小結

本章采用磁控濺射方法制備了IMO薄膜，并研究了不同的襯底溫度（50～250℃）對薄膜性質的影響。隨著襯底溫度的升高，薄膜的結晶度有所改善。在250℃的襯底溫度下薄膜具有的最大遷移率為53.9cm2/（V·s）。在多數IMO薄膜中，主導的載流子散射機制為雜質散射。在500～1000nm波長區間，IMO薄膜的透射率都較高。IMO薄膜的光學帶隙在3.5eV以上，適合作為太陽能電池的TCO窗口層。