2.5 本章小結

本章首先介紹了金剛石超精密切削單晶硅的切削機理，計算出了金剛石超精密加工的最小切削深度；接著介紹了有限元法的基本思想和計算流程；由于金剛石超精密切削是多重非線性問題，列出了Marc求解非線性的幾種方法，本書選用的是Newton-Raphson迭代方法；在掌握了超精密切削理論、有限元流程和非線性有限元理論的基礎上，利用大型商業有限元軟件Marc，建立了金剛石超精密切削單晶硅的二維有限元仿真模型。