導言

李志堅（1928—2011），電子學專家，清華大學教授，信息科學與技術學院學術委員會委員，清華大學微電子所創始人之一，曾長期任清華大學微電子學研究所長，1991年當選為中國科學院院士（學部委員）。

李志堅出生于人杰地靈的浙江鎮海，同為鎮海人的畫家陳逸飛一幅《故鄉的回憶——雙橋》畫出了江南水鄉清澈的小河、質樸的民宅和寄托綿綿鄉情的石板橋。流水、石橋養育了無數聰敏、堅毅的鎮海人，李志堅便是其中憑借自己的努力和堅持獲得成功的優秀一員。

李志堅的父親是一個自己創業的普通商人。他從挑著“貨郎擔”翻山越嶺幾十里到臨鄉叫賣的小商販，發展成為在柴橋鎮上擁有三間店面的業主，其努力和奮斗的一生成為子女們人生路上的第一個楷模。李志堅的母親是一位傳統的家庭婦女，十五歲嫁入李家后憑著心靈手巧、堅韌慈愛，將七個兒女撫育成人。父母祖輩雖不是書香門第、權貴家族，卻在平凡中為兒女如何做人、如何建業樹立了最淳樸的理念。1934年，李志堅在家鄉的柴橋小學開始接受啟蒙教育，在小學至高中的十三年中，他經歷了日機的轟炸，也接受了最熱情的愛國教育；經歷了被迫退學，也在堅持中說服父母恢復了自己的學業。是戰亂讓他從小樹立了愛國報國的理想，戰亂同樣也磨煉了他的百折不撓的意志。

1947年李志堅考取名校浙江大學，在物理系何增祿、束星北、盧鶴紱、王淦昌等當時中國物理學界最優秀的教授的引領下走進了物理學的殿堂。大學畢業后他被分配到同濟大學物理系任助教，在院系調整時他頂替同事準備去東北農學院任職，卻又接到學校通知要他前去北京俄專學習一年后留學蘇聯。就這樣，李志堅在諸多波折中于1953年8月踏上了去蘇聯的旅程。在蘇聯的四年半學習中，李志堅克服了語言難關，用半年時間通過了本應準備兩年的考試，自己設計、制造實驗設備，開創性地成功提出薄膜光導體的晶粒電子勢壘理論，完成關于CdS、CdSe薄膜的電子激發電導的畢業論文，用明確的實驗結果證實了多晶膜的晶粒間電子勢壘對電導、光電導所起的決定性的作用，及這一勢壘與晶界狀態、晶粒大小等依賴性的有關規律，以優異的成績獲得了蘇聯列寧格勒大學物理-數學科學副博士學位。

得知學習半導體專業的李志堅即將回國，正在創建中的清華大學無線電系負責人親自開車去火車站將他“劫”到了清華。在如此盛情下，李志堅沒有按當時的傳統回到留學前的派出單位，而是留在清華大學剛剛組建成的半導體教研組，不久便被委以教研組負責人的重任，并開始主持半導體研究。在之后的工作中，李志堅和他的同事們攻克了純度高達“九個九”的多晶硅的制作，緊接著又在研制“平面型高反向擊穿電壓硅晶體三極管”中取得成功，并早在1963年就開始醞釀集成電路的研究。

1980年，在原有無線電系半導體教研室和計算機系半導體車間的基礎上，清華大學微電子學研究所成立了。作為副所長的李志堅主管科研，建成了3微米MOS LSI工藝線，研制出的C m8085 NMOS高速微處理器獲電子工業部科技進步一等獎，1k×4靜態隨機存儲器（CM2114）獲北京市科技進步二等獎。在他1985年12月就任所長后，又主持承擔了“七五”國家重點科技攻關項目“1—1.5微米成套工藝開發及相應水平大規模集成電路的研制”。在此項目支持下建立了中國第一個超凈度為10級的超凈環境，建立起中國第一條1mm級VLSI管芯片研制工藝線。此項目最終獲得了國家科技進步二等獎。1991年微電子所承擔的1兆位漢字只讀存儲器順利通過了部級技術鑒定，宣告我國首次跨上了1.5微米工藝和百萬個元器件集成度的技術臺階，并于1995年獲國家科技進步二等獎。李志堅個人則在1979年獲得全國勞動模范稱號，1991年當選中國科學院院士（學部委員），獲1997年度陳嘉庚信息科學獎、2000年度“何梁何利基金科學與技術”進步獎。如此多個重大獎項齊聚于李志堅的一生，可謂奇觀。

迄今為止關于李志堅的研究僅有一些零星的短篇傳記[1]、采訪報道[2]以及紀念文章[3]，還未有李志堅的傳記專著出版。已出版的文字可以幫助我們粗略概括李志堅的一生，但要想讓他的學術人生更加豐滿充實地展現給后人，還需要更多的資料挖掘。作為清華大學重點學科“微電子學”的領軍人物，李志堅的學術人生展現了清華大學學科創建的發展與變革，也是中國近代科技發展史的重要組成部分。早在2001年，清華大學的同仁曾系統詳細地對包括李志堅在內的微電子所的重要成員進行過數次訪談（其中采訪李志堅3次），并形成了一系列成果。[4]在這些成果的基礎上，課題組于2008年1月拜訪了李志堅，對一些關鍵問題進行了集中訪問。但就在課題組做好前期準備工作，試圖進行全面訪談時，李志堅因病逝世，此項工作也被迫擱淺。幸運的是，2012年中國科協啟動了老科學家學術成長資料采集工程，在前期工作的基礎上，課題組申報了“李志堅學術成長資料采集”項目，該項目得到了立項機構和有關專家的認同。如此契機讓課題組得以繼續該項工作。課題組成員立刻與李志堅遠在美國的女兒取得聯系，得到了與李志堅最為親近的同學、同事、學生、朋友等二十幾人的名單。至此，“李志堅學術成長資料采集”項目緊鑼密鼓地正式開始了。

在“李志堅學術成長資料采集”歷時一年多時間里，課題組幾乎走訪了能聯系上的所有與李志堅相關的人士，如李志堅的三位大學同學：趙松齡（同濟大學退休教授，大學畢業后與李志堅一起被分配到同濟大學，共事一年）、袁運開（原華東師范大學校長）、李申生（首都師范大學退休教授）；兩位留蘇同學：張禮（清華大學高等研究院教授）、楊楨（中國原子能科學研究院研究員）。李院士的同窗舊友現都已是年入古稀的老人，他們多是曾在教育界和學術界做出杰出貢獻的大家。每當他們回憶起曾經年少的生活時，我們總能看到前輩們看盡人間世故、歷盡滄桑的雙眼閃爍綻放出的熠熠光彩，看到他們曾經在美好的時光里為各自的夢想所揮灑的汗水，以及同窗之間的真摯友情。追憶著他們已逝的這位同窗好友，他們除卻一次次地發出惋惜和慨嘆之外，更多的是對李院士曾經刻苦學習和奮斗的崇敬，以及對他高尚人品的贊揚。

此外，課題組還走訪了李志堅的老領導、微電子研究所的第一位所長南德恒；李志堅之后繼任的兩位所長錢佩信和陳弘毅，他們是五十年代中后期半導體教研組培養出的優秀人才，陳弘毅還是由李志堅指導的最早的碩士生。在我們訪談的微電子所在職人員中，大部分是李志堅的學生，如齊家月、王志華，還有他指導的最后一名博士生李鐵夫。為了對李志堅某幾個特殊時期的工作有更深刻的認識，課題組還走訪了參與半導體教研組早期工作的楊之廉，一起參加綿陽分校建設的賈松良，曾一起在北京半導體車間工作的李瑞偉。還有王陽元院士，在百忙中接受了課題組的訪談要求，回顧了李志堅與他半個多世紀的老鄉情、朋友情、同行情。

在不間斷地進行訪談整理的同時，課題組利用清華大學檔案館、圖書館開辟獲取材料的第二條途徑，得到了一些李志堅的親筆書函、國家重點科技攻關項目的申請書、記錄課題思路的筆記本、親手書寫的自傳等珍貴文件。在項目后期課題組也得到了李志堅家屬的大力支持，得到了他們捐贈的李志堅親筆書寫的關于超大規模系統集成的基礎研究手稿和關于VLSI系統集成的基礎研究的手稿，還有李志堅的弟弟和妹妹親筆為本課題所撰寫的紀念文章。

從各方面收集來的李志堅的豐富材料顯示，李志堅的學術人生不僅僅是充滿輝煌、名譽和成就的一生，在他獲得贊譽的同時也伴隨著種種艱辛與苦難：幼年時在日機的轟炸中隨父母、學校輾轉求學；“四清”時期下鄉勞動，“文化大革命”時期被派往綿陽建設新校；重體力勞動導致的肝病之苦，以及突如其來的喪子之痛。李志堅的人生篇章中刻滿了時代烙印，卻也不乏他對信仰的堅持，在波瀾壯闊的歷史中鐫刻著自己的人生和事業。在李志堅的學術人生中，既有作為一個學者的冷靜和高瞻遠矚，同時亦有著作為父親的和藹和作為師長對學生的關愛、支持。我們努力向大家呈現的不僅是家人、同事、朋友、學生眼中更為真實和全面的李志堅，也是以李志堅為代表的一代科學家伴隨著新中國成長，在黨的關懷下求學，在百廢待興中發展科學的時代縮影。他們的一生時刻與國家的命運相關聯，他們的夢想與國家的富強相促進。因此，這篇傳記不僅是一個人的人生，也是同時代科學家們的人生映射，從中看到的不僅是一個人，而是一群人為祖國、為夢想、為科學而奮斗獻身的傳奇。

為了從多方面、多維度展開李志堅的學術人生，本傳記按時間順序以李志堅院士學術事業的開端、發展為主線，突出其中的關鍵時間和事件。一方面著力于呈現李志堅院士個人在學術探索中的努力和奉獻，另一方面也試圖描畫特殊時代背景下那一代科學家面對政治經濟環境所做出的抉擇，他們取得的成就既是個人的成功也是時代的產物。傳記可大體分為三個部分，第一部分是求學時期（第一、二、三章），第二部分是初入清華大學時期（第四、五、六章），第三部分是創建微電子所及發展時期（第七、八章）。

第一、二章著重描繪了李志堅的家世、出生背景及青少年時期在戰亂中的求學歷程。為了更準確貼切地描寫這一時期，課題組一路跟隨李志堅曾經的腳步走訪了他的出生地——寧波市北侖區柴橋街道，他曾就讀過的浙江省重點中學——鎮海中學和寧波二中，以及他的母校——浙江大學。在這些地方，我們獲取了有關李志堅的校史記錄、檔案學籍、大學時期的成績單和剛入學時親筆填寫的入學調查表等珍貴資料。李志堅的大學同學趙松齡、李申生還提供了數張珍貴的照片合影，其中包括1949年初夏浙江大學物理學會會員留影，合照中還有當時最負盛名的物理學家王淦昌、束星北、何增祿等人。大學畢業后，李志堅服從國家安排在同濟大學任助教，之后又被學校推薦、國家考核后以留蘇預備生的身份前往北京俄文專修學校學習外語，準備一年后留學蘇聯。第三章則主要介紹了李志堅在蘇聯的學習、生活狀況，通過訪談留蘇同學張禮、楊楨獲取了珍貴的口述史材料，包括當時的留學生如何適應蘇聯的學習環境，接受與國內截然不同的教育，并以外國學生的身份在研究領域取得成績并獲得蘇聯教授和同學的尊重和贊賞。同時，我們也獲得了當時用蘇聯相機拍下的展現留學生工作和生活的珍貴照片，包括周培源前往列寧格勒考察時與留學生們的合影。

第二部分是李志堅回國開創半導體研究，這期間有對半導體新方向的開辟，也有在政治運動中的挫折和堅持。在訪談中我們獲知李志堅來到清華的前因后果，在“科學大躍進”時期帶領半導體教研組堅持科學真理向祖國“獻禮”，“文化大革命”中遷往綿陽建設新校。這段歷史不僅是李志堅個人處于事業開創最為艱苦并歷經磨難的時期，也是中國在科技強國道路上的探索和挫折。在清華大學檔案館中我們找到了關于李志堅1958年初到清華的報到人員登記表，被評為副教授的通告和他撰寫的評教授的材料。李志堅家屬捐贈了他在蘇聯留學期間購買并帶回國內一直使用著的工具箱、全國勞動模范獎章以及北京市勞動模范獎章。這些成績的獲得是李志堅“文化大革命”十年的積累，也是在最惡劣艱苦的環境中開出的心血之花。

第三部分是李志堅領導下的微電子所蓬勃發展時期，也是他成就一生功業的主要階段。課題組通過訪談微電子所的歷任所長來了解李志堅領導下的微電子所，從80年代創建開始，伴隨著科學的春天建成了全國第一所凈化級別達到萬級的超凈車間，突破國際封鎖完成1兆位漢字只讀存儲器的研制，為保護國家信息安全開發出具有自主版權的身份證專用集成電路芯片。通過對李志堅親屬的訪談，我們看到他對科學的愛已深入骨髓，融入生活。他作為微電子所的靈魂人物，指引微電子所的戰略發展；作為老師，指導學生絲絲入微；作為患者，科學而又樂觀地對待疾病。他的生活因為科學而精彩，同時也正是因為科學，使他在生命的最后更加熱愛生活，并把他對生活的熱愛傳遞給更多人。

李志堅的一生是奉獻于國家也是奉獻于科學的一生，他參與了中國半導體事業的開創，并致力于趕超國際微納電子技術研究的前沿。在他的一生中，從小就萌發的報國情和強國夢是時代主題更是他矢志不渝的信仰。本書以《微納世界中國芯：李志堅傳》為名，紀念用一顆赤誠火熱的愛國心建筑微納世界的李志堅院士。

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[1] 中國科學技術協會編：李志堅。見《中國科學技術專家傳略·工程技術編·電子信息科學技術卷2》。中國科學技術出版社，2007年，第208—220頁。

[2] 陸瑩、俞子成：一“芯”報國——訪中科院院士李志堅。《今日浙江》，2010年第6期；景致：中國IC技術的奠基人。寧波北侖地方志網站·人物掠影，2010-1-9；黃偉明：戒驕戒躁，踏踏實實把學問做好——訪北京聯誼會顧問、中科院院士李志堅。金華寧波人，2010年4月30日。

[3] 戴吾三：李志堅：一生與硅不了情。《自然與科技》，2013年第9期。

[4] 楊艦、戴吾三主編：《清華大學與中國近現代科技》。北京：清華大學出版社，2005年；戴吾三、葉金菊：從半導體教研組到微電子學研究所——清華大學半導體專業、微電子學研究所的發展和創新。《自然科學史研究》，2003年增刊；白欣、楊艦等：清華大學微電子學科的建立及產業化的發展——楊之廉教授訪談錄。《半導體技術》，2011年第5期。