X射線衍射技術(XRD)可獲得高靈敏度的應變測量效果,卻不能獲得納米尺度空間高分辨率的應變場,原子力電鏡(AFM)與掃描隧道電鏡(STM)顯微術可獲得納米尺度高分辨率應變場,但視場限于納米量級,無法觀測更大視場微米尺度應變。通過調整衍射、干涉束,選擇明、暗場模式等技術細節,可實現不同微尺度成像模式下的透射電鏡成像。但目前的微尺度表征技術,在高應變靈敏度、高分辨率及大視場技術方面需要突破。基于幾何位相分析方法,有學者提出了中心暗場透射電鏡(Central Dark Field Transmission Electron Microscope, CDFTEM)新技術,如圖2-11所示,在中心暗場條件下,采用無應變完整晶體區的衍射束參考束,與應變區的衍射束干涉,獲得被莫爾條紋調制的暗場全息圖,再利用幾何位相分析法計算出應變區的應變場,得到尺度為200nm的區域大視場應變分布,并具有令人滿意的高空間分辨率和應變靈敏度。利用CDFTEM技術觀察位錯/空洞具有獨特優點,可反映位錯起源、孔洞擴展及相互作用,直接觀察位錯、空洞貫通與晶格條紋,收集分析從樣品局部微區發射的各種信息,如透射束與參考束干涉的全息條紋,不僅可獲得位錯運動、空洞排列信息,還可通過衍射環直徑和晶格條紋間距等來獲得位錯結構與空洞、微晶形狀,因而該技術在位錯/應變/空洞微尺度耦合表征中前景廣闊。