9.2　采暖、通風(fēng)與廢氣處理

9.2.1　嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)各動(dòng)力站房及管廊應(yīng)根據(jù)技術(shù)要求設(shè)置防凍采暖設(shè)施，其他房間的采暖設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019的有關(guān)規(guī)定。

9.2.2　潔凈室（區(qū)）內(nèi)不應(yīng)采用散熱器采暖。

9.2.3　潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備均應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。

9.2.4　排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1　等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和干法刻蝕設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理裝置。

2　酸、堿、有毒和有機(jī)廢氣應(yīng)分開設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，并應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機(jī)和應(yīng)急電源。

3　陣列、彩膜、成盒廠房一般排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機(jī)。

4　有冷凝液產(chǎn)生的工藝設(shè)備局部排風(fēng)管宜設(shè)置坡度和排液口，冷凝液應(yīng)排至相應(yīng)的廢水管網(wǎng)中，且風(fēng)管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施。

5　有毒排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用內(nèi)涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作。

6　有毒和有機(jī)排風(fēng)應(yīng)采取防爆措施。

7　酸、堿、有毒和有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管不應(yīng)穿過防火墻或防火分隔物。若必須穿過時(shí)，不得設(shè)置熔片式防火閥。

8　酸、堿、有毒和有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)的廢氣處理設(shè)備應(yīng)設(shè)在排風(fēng)機(jī)的負(fù)壓端。

9　有毒排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)在便于觀察的位置設(shè)置透明觀察口，其管內(nèi)風(fēng)速不應(yīng)小于10m/s。

10　工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施。

11　布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的排風(fēng)管道，其管內(nèi)風(fēng)速不應(yīng)大于12m/s。

12　潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.5　廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1　等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和干法刻蝕設(shè)備尾氣宜設(shè)置兩級(jí)就地處理裝置，對(duì)硅烷和二氧化硅的去除率不應(yīng)小于98%，對(duì)其他有害物的處理效率不應(yīng)小于99%。

2　有毒廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)針對(duì)酸、堿、粉塵綜合處理。

3　酸、堿、有機(jī)、有毒廢氣處理系統(tǒng)宜設(shè)置備用處理設(shè)備。

4　酸、堿、有機(jī)、有毒廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理。

5　酸、堿、有毒廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設(shè)備的填料層數(shù)、厚度和噴淋藥液循環(huán)量應(yīng)根據(jù)有害物入口濃度、排放標(biāo)準(zhǔn)等因素計(jì)算確定。處理設(shè)備的加藥、補(bǔ)水和排污應(yīng)采用自動(dòng)方式；處理設(shè)備宜就近設(shè)置日用藥箱。

6　處理設(shè)備的排水應(yīng)進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)。

7　有機(jī)廢氣宜采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附、濃縮，并應(yīng)經(jīng)焚燒爐氧化方式處理；焚燒后高溫氣體排入大氣前宜設(shè)置兩級(jí)熱回收裝置。

8　剝離設(shè)備有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪處理設(shè)備前宜進(jìn)行預(yù)處理。

9　廢氣處理設(shè)備采用的級(jí)數(shù)應(yīng)根據(jù)有害物的種類、初始濃度、當(dāng)?shù)氐呐欧艠?biāo)準(zhǔn)、處理設(shè)備的效率等因素確定。

10　兩臺(tái)及兩臺(tái)以上廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運(yùn)行時(shí)，應(yīng)在每臺(tái)設(shè)備的入口設(shè)置電動(dòng)或氣動(dòng)密閉風(fēng)閥。

9.2.6　酸、堿、有機(jī)、有毒廢氣經(jīng)處理后應(yīng)經(jīng)排氣筒排入大氣，排氣筒高度應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297和環(huán)境評(píng)估報(bào)告的有關(guān)規(guī)定，排氣筒出口處風(fēng)速不宜小于18m/s。

9.2.7　酸、堿、有毒和有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)宜在排氣筒內(nèi)設(shè)置在線監(jiān)測(cè)取樣傳感器。

9.2.8　一般排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)宜作為潔凈室的回風(fēng)使用。

9.2.9　換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口宜設(shè)置在下部；換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施；一次更衣間宜設(shè)置不低于5次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。