9　供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.1　一般規(guī)定

9.1.1　潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

9.1.2　潔凈室（區(qū)）的氣流組織應根據(jù)潔凈度等級以及生產(chǎn)工藝要求確定。

9.1.3　凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設置的原則除應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50472的有關規(guī)定外，還應符合下列規(guī)定：

1　溫、濕度基數(shù)差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng)；

2　溫、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng)。

9.1.4　潔凈室內(nèi)的新風量應取下列兩項中的最大值：

1　補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新風量之和；

2　保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新風量不小于40m3。

9.1.5　潔凈室與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：

1　不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa；

2　潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應小于5Pa；

3　潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa。

9.1.6　布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)的風管、水管應采取減振措施。