4.4　設備配置

4.4.1　生產設備和輔助設備的選擇應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定，且宜采用自動化程度高、耗能低、排放少的設備。

4.4.2　陣列、彩膜和成盒工序應采用玻璃基板卡匣或其他專用工裝搬運產品，批量生產線宜采用全自動物料搬送系統。生產區采取多層布置方式時，跨層生產區之間的產品搬運宜設置自動垂直運輸設備。

4.4.3　化學氣相沉積和物理氣相沉積設備安裝區域應配置潔凈室專用的檢修起重設備。