第5章　硅片加工

硅片是制作晶體硅太陽電池的基礎材料，也是晶體硅太陽電池最昂貴的部分，硅片切割是太陽電池制造中的關鍵工藝。該工藝用于處理單晶硅或者多晶硅的固體硅錠。目前切片用的是線鋸，線鋸首先把硅棒（錠）切成方塊，然后切成很薄的硅片（圖5.1），包括硅晶體的滾磨開方、晶體切割、硅片研磨、硅片拋光和清洗五步。

圖5.1　硅片的切料、切方和切片