9.4　穩(wěn)定或瞬變過程的平衡壓力

穩(wěn)態(tài)出氣過程中，恒定氣體量獲得的平衡壓力（忽略泵的極限壓力）為

（9-15a）

事實上，出氣量Q隨抽氣時間而緩慢變化。非穩(wěn)態(tài)出氣時，其瞬態(tài)方程式為

（9-15b）

式中　p——真空室內(nèi)壓力，Pa；

        pi——時間t=0時的起始壓力，Pa；

        p0——抽氣機組的極限壓力，Pa；

        p1——某一時刻t時的平衡壓力，即出氣量Q與機組有效抽速S之比，Pa；

        V——真空室容積，m3；

        S——機組的有效抽速，L/s；

        t——壓力由pi到p的時間，s；

        Q——出氣量，Pa.L/s。

由公式（9-15b）可知真空室的極限壓力為p0+p1；

當p0?p1，真空室內(nèi)壓力取決于出氣，即Q/S=p1；

當p0?p1，出氣可以忽略時，真空室壓力取決于泵的極限壓力；

當p0和p1為同數(shù)量級時，極限壓力為p0+p1。