1.2 微機電系統

1.2.1 微機電系統簡介

微電子機械系統（Microelectromechanical System，MEMS，簡稱微機電系統或微系統）是一門新興的交叉學科，它將微電子、精密機械、生化和信息處理等高技術有機整合，對21世紀的科學技術、人類生產和生活方式將產生革命性影響，并在未來高科技戰爭中扮演著舉足輕重的角色，是關系國民經濟發展和國家安全保障的關鍵技術。MEMS技術在生物醫療、精密儀器、環境保護、航空航天、軍事通信等領域都有廣泛的應用前景。如利用MEMS技術，可以制成突破通信瓶頸的全光交換機，準確檢測病變的基因芯片，比手掌還小的飛行器，重量僅有幾十克的微小衛星。在過去的二十幾年里，MEMS技術得到了很大的發展，部分產品已成功地商業化，如氣體傳感器、噴墨打印機頭和汽車安全氣囊等。

微電子機械系統主要有三種制備工藝，第一種是以日本為代表的微機械加工方法，其核心思想是大機器加工小機器，小機器加工微機器；第二種是以美國為代表的基于硅微電子加工的方法，它可分為體加工工藝和表面犧牲層工藝；第三種是以德國為代表的LIGA（德文Lithographie Galvanoformung Abformung）技術。本書主要介紹與微壓印技術相關的LIGA技術。