1.2　傳感器的分類

傳感器的分類方法較多，按被測量可以分為物理量（如壓力、加速度、溫度、流量等）傳感器、化學量（如濕度、氣體等）傳感器、生物量（如酶等）傳感器等；按原理可以分為壓阻式傳感器、壓電式傳感器、諧振式傳感器等；按工藝平臺可以分為MEMS傳感器、HTCC傳感器等；按材料可以分為硅傳感器、陶瓷傳感器、高分子傳感器、光纖傳感器等。這些分類不是對立的，因此有時為了使表征更清晰，會同時使用兩種以上分類，如MEMS諧振壓力傳感器、光纖振動傳感器等。