1.4.2　智能傳感器的發展趨勢及方向

半導體技術的發展使傳感器技術向智能化方向發展，一些企業和研究機構大力開展集成智能傳感器研制工作，使智能傳感器迅速發展。

從傳統傳感器到智能傳感器，再到嵌入式Web傳感器，傳感器正逐步實現信息化、智能化、網絡化、微型化。

隨著微電子機械系統（Micro-Electro-Mechanism System，MEMS）、片上系統（System on a Chip，SoC）及無線通信和低功耗嵌入式技術的發展，無線傳感器網絡（Wireless Sensor Networks，WSN）應運而生，其具有低功耗、低成本、分布式和自組織等特點，帶來了信息感知的一場變革，成為傳感器領域的新熱點。

智能傳感器的發展方向如下。

（1）高精度和高可靠性。隨著測量、控制技術的發展，對傳感器測量數據的要求不斷提高，智能傳感器需要具有靈敏度高、精度高、響應速度快、互換性好的特點。例如，全量程精度達到0.01%FS，可以測量FT級別的磁場，氣體濃度達到ppb級。數據的質量一致性是測量系統的主要要求，傳感器的可靠性直接影響系統的穩定運行，對傳感器可靠性的要求越來越高。

（2）集成化。在物聯網中，監測對象的參數越來越多，且要求原位監測，智能傳感器的尺寸、體積越小越好，重量越輕越好，功耗越低越好，因此需要發展新工藝、新技術，將多參數傳感器、智能處理電路及電源管理單元集成到芯片上。隨著后摩爾定律的發展，集成度會大幅提高。

（3）網絡化。物聯網是智能傳感器的重要應用領域，網絡化是其主要特征。目前，通信協議的速率、功耗等指標仍有提高的空間，網絡協議的自主溝通能力、協調處理能力、通信速率、實時性、壓縮率及智能傳感器的邊緣計算能力將進一步提高。