森谷會社是全球最著名的光刻膠生產(chǎn)商,占據(jù)著國際光刻膠市場超過40%的份額。
i線光刻膠是森谷會社正在開發(fā)的下一代產(chǎn)品,目前已經(jīng)有了一些成果,正在進行測試。
KrF光刻膠的研制也已經(jīng)開始,只是進度稍慢一些,畢竟KrF光刻機的問世可能要到五年后,森谷對此并不特別著急。
國際上還有幾家企業(yè)也在開發(fā)i線光刻膠,進度與森谷會社差不多。森谷對于這幾家企業(yè)的競爭并不特別在意,因為大家的開發(fā)思路...
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