1.3?半導體制造系統調度發展趨勢

現代工業技術的發展使得制造過程、工藝和設備裝置趨于復雜,已經很難通過基于機理模型的傳統建模方法為系統精確建模從而優化系統運行性能。例如對于復雜硅片加工生產線,雖然運用了先進的調度思想,精心設計了調度算法并加以實現,但得到的仿真結果精度較差,難以指導實際的調度排程任務。而隨著企業信息化程度的提高,制造型企業對數據采集的實時性、精確性有顯著提升,從而促進基于數據的方法在生產制造過程中的應用。在半導體制造領域,由于其關鍵性能指標無法由機理模型描述和在線監控檢測,基于數據的預測方法得到了廣泛的應用。而基于數據的調度方法則更側重將數據驅動的方法和傳統調度建模優化方法相結合來求解調度問題。本節從復雜制造系統數據預處理、基于數據的調度建模、基于數據的調度優化三個方面進行綜述。