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1.2.7 輝光放電質譜

像大多數質譜技術一樣,輝光放電質譜(GD- MS)也已成為一種成熟的分析工具,應用于較寬的動態范圍內分析地質冶金和半導體材料(導電和非導電)的主要、痕量和超痕量成分,其應用范圍跨越多個學科。第一臺商用GD- MS于1985年建造。如表1-3所示,GD- MS對各種稀土元素的檢測限度低于μg/g水平,這項技術在檢查單個稀土氧化物的純度方面具有很高的應用價值。

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