書名: GB 51136-2015 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計規(guī)范作者名: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部本章字?jǐn)?shù): 886字更新時間: 2021-04-22 19:28:56
8.2 大宗氣體供應(yīng)
8.2.1 大宗氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 工廠應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求確定大宗氣體的種類,其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求;
2 大宗氣體的供氣方式應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r各種因素確定;
3 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應(yīng)設(shè)置放散管,放散管應(yīng)引至室外并應(yīng)高出建筑的屋脊1m,氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器;
4 潔凈廠房內(nèi)氣體管道的干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);
5 潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷,穿過潔凈室的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采取密封措施;
6 氫氣管道不得穿過不使用此類氣體的房間,當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管;
7 氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施。
8.2.2 高純大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)工藝設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50724的有關(guān)規(guī)定。
8.2.3 大宗氣體純化間或氣體入口室內(nèi)設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w裝置時,其火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 可燃?xì)怏w裝置應(yīng)靠外墻設(shè)置,并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施;
2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥;
3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng),并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置;
4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置,并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置連鎖。
8.2.4 大宗氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇,并應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 氣體純度大于或等于99.9999%時,宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管,閥門應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥;
2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時,宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管或內(nèi)壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼無縫鋼管,閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;
3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時,宜采用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼無縫鋼管,除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外,其余氣體管道宜采用球閥;
4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。
8.2.5 大宗氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊,宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;
2 管道與設(shè)備或閥門的連接宜采用表面密封的接頭或雙卡套,接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;
3 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求,當(dāng)采用軟管連接時,應(yīng)采用金屬軟管。
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