和位于白俄羅斯首都明斯克市中心不遠的波朗納爾科研生產聯合體不同，蘇聯兩大半導體聯合體之一的埃里昂精密機械制造研究則位于莫斯科郊外的“綠城”。

埃里昂精密機械制造研究與昂格斯特列姆精密研究所等四個研究所、六個工廠形成了前蘇聯最大的微電子、計算機和專用設備的綜合性研究、開發、生產基地。

埃里昂主要從事離子蝕刻機、擴散爐、外延爐、鍍膜機、磁控濺射設備、集成電路測試系統、電子束曝光機等設備的研...